“今年作為疫情結(jié)束之后的首屆進(jìn)博會(huì),我們還是蠻期待的?！?/p>

伴隨第六屆國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)帷幕的開(kāi)啟,半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先供應(yīng)商ASML(阿斯麥)以“光刻未來(lái),攜手同行”為主題,亮相位于國(guó)家會(huì)展中心的技術(shù)裝備展區(qū)集成電路專區(qū)。

ASML全球高級(jí)副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波在此次參展的預(yù)熱活動(dòng)中表示,這是AML第五次參加進(jìn)博會(huì)?！敖鼛啄?ASML似乎已經(jīng)成為一家‘網(wǎng)紅’公司。我們希望通過(guò)進(jìn)博會(huì)這一難得的平臺(tái)和窗口,令公眾對(duì)公司有更客觀、更全面的認(rèn)識(shí)?！?/p>

據(jù)悉,今年ASML共分為三個(gè)展區(qū),包括公司介紹及拍照打卡區(qū)、虛擬晶圓廠及ASML全景光刻解決方案、仿真光刻機(jī)“開(kāi)箱”區(qū)。“制造芯片是一個(gè)非常復(fù)雜的過(guò)程”。沈波坦言,“今年,我們著力想讓大家理解作為一個(gè)芯片廠,ASML究竟能幫我們的客戶做什么?！?/p>

ASML展臺(tái)效果圖

ASML總部位于荷蘭菲爾德霍芬,自1988年向中國(guó)交付了首臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)以后,迄今已在中國(guó)市場(chǎng)深耕30余年。如今,中國(guó)已成為ASML最重要的市場(chǎng)之一,設(shè)有16個(gè)辦事處、12個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)物流中心、3個(gè)開(kāi)發(fā)中心、1個(gè)培訓(xùn)中心以及1個(gè)維修中心。 

沉浸式呈現(xiàn)“鐵三角”解決方案

本屆進(jìn)博會(huì),ASML延續(xù)數(shù)字化路線,帶領(lǐng)觀眾進(jìn)入虛擬晶圓廠,在數(shù)字化空間里展示芯片制造全流程,并沉浸式體驗(yàn)ASML所專注的“成像環(huán)節(jié)”,深度了解ASML包括光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻以及光學(xué)和電子束量測(cè)在內(nèi)的全景光刻解決方案如何相互協(xié)作、支持客戶。該環(huán)節(jié)旨在持續(xù)傳遞ASML以全景光刻“鐵三角”的無(wú)間合力,幫助芯片制造商經(jīng)濟(jì)高效地提升良品率和生產(chǎn)效率,支持半導(dǎo)體行業(yè)共同發(fā)展的愿景。

現(xiàn)場(chǎng)亦將展出仿真光刻機(jī)外觀平面模型,并通過(guò)裸眼3D視頻,展示光刻機(jī)內(nèi)部構(gòu)造,引領(lǐng)觀眾們探索和了解ASMLDUV(深紫外線)光刻機(jī)核心部件以及基本工作原理。

在芯片制造的上千道工序中,成像環(huán)節(jié)是ASML所關(guān)注的。此次進(jìn)博會(huì)上,ASML帶來(lái)了全景光刻解決方案。

“大家聽(tīng)到ASML就會(huì)想到光刻機(jī),實(shí)際上光刻機(jī)的作用就是讓客戶在整個(gè)芯片制造過(guò)程中實(shí)現(xiàn)成像。因此,怎樣把成像做得更好,幫助客戶在制造芯片的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)更好的良率,從而更順暢地將工藝窗口做得更好,是我們圍繞成像過(guò)程努力的目標(biāo)。”沈波坦言。

基于此,不僅是光刻機(jī),ASML計(jì)算光刻的軟件和整個(gè)量測(cè)系統(tǒng),共同構(gòu)成一個(gè)越來(lái)越緊密協(xié)作的“鐵三角”,即包括配備強(qiáng)大工藝控制能力的光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻、光學(xué)及電子束量測(cè)的全景光刻解決方案,幫助芯片制造商生產(chǎn)更小、更強(qiáng)大、更智能的芯片。

其中光刻機(jī)作為“晶圓成像專家”,可幫助客戶制造芯片;計(jì)算光刻可創(chuàng)建光刻工藝的精確仿真模型,提高良率和產(chǎn)能;量測(cè)則可以在曝光后進(jìn)行晶圓成像檢查和反饋,幫助模型進(jìn)一步優(yōu)化。據(jù)沈波透露,這一“鐵三角”解決方案頗受中國(guó)客戶歡迎,并在行業(yè)中獲得諸多認(rèn)可。

不斷釋放的中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)潛能

1988年,第一臺(tái)ASML步進(jìn)式光刻機(jī)進(jìn)入中國(guó)。在中國(guó),ASML始終積極響應(yīng)中國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展需求,從而幫助客戶提高效率并降低成本。

沈波表示,芯片行業(yè)發(fā)展至今,已有超過(guò)60年的歷史。從當(dāng)前終端市場(chǎng)的表現(xiàn)看,中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)有很大發(fā)展?jié)撃?尤其是在成熟制程領(lǐng)域。

根據(jù)公開(kāi)數(shù)據(jù),在家電行業(yè),中國(guó)是家電和消費(fèi)電子產(chǎn)品的最大消費(fèi)國(guó)和生產(chǎn)國(guó)之一,預(yù)計(jì)2023年在該領(lǐng)域最高將創(chuàng)造1,530億美元的收入,約占全球的30%;在汽車行業(yè),根據(jù)中國(guó)汽車工業(yè)協(xié)會(huì)的最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),中國(guó)新能源汽車的增長(zhǎng)速度連續(xù)八年保持世界第一;在儲(chǔ)能行業(yè),截至2022年底,中國(guó)已投運(yùn)的電力儲(chǔ)能項(xiàng)目累計(jì)裝機(jī)容量為59.8GW,占全球市場(chǎng)總量的 25%,年增長(zhǎng)率為 38%。另外,中國(guó)企業(yè)供應(yīng)了全球約 80%的多晶硅、太陽(yáng)能電池和組件。

與此同時(shí),從成熟制程到先進(jìn)制程的終端消費(fèi)市場(chǎng),例如智能手機(jī)、服務(wù)器、數(shù)據(jù)中心和存儲(chǔ)、無(wú)線和有線基礎(chǔ)設(shè)施等領(lǐng)域,中國(guó)均有顯著增長(zhǎng)。

“上述市場(chǎng)均為半導(dǎo)體應(yīng)用相關(guān)的重要終端市場(chǎng)。另外還有工業(yè)應(yīng)用,尤其是如今熱門的智能制造,其核心是工業(yè)自動(dòng)化、工業(yè)應(yīng)用,包括機(jī)器人的應(yīng)用等?！币怨I(yè)機(jī)器人的應(yīng)用為例,工業(yè)和信息化部數(shù)據(jù)顯示,2022年中國(guó)工業(yè)機(jī)器人裝機(jī)量占全球比重超50%,已成為全球第一大工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng)。

全球電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將推動(dòng)整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)。隨著中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展以及半導(dǎo)體終端市場(chǎng)的增長(zhǎng),最大的成熟制程芯片市場(chǎng),中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的發(fā)展?jié)摿φ徊粩噌尫拧?/p>

據(jù)了解,伴隨業(yè)務(wù)發(fā)展,ASML在華員工數(shù)一直在可持續(xù)增長(zhǎng)。如今其中國(guó)大陸員工總?cè)藬?shù)已超過(guò)1,600人,并將于未來(lái)繼續(xù)發(fā)展人才隊(duì)伍,以支持本地業(yè)務(wù)長(zhǎng)期發(fā)展。（企業(yè)供圖）